溫度首先應服從工藝要求，當工藝無要求時應考慮人的舒適性要求。工藝要求主要有以下這種恒溫要求
溫度波動一般< 1℃的算恒溫，但溫度最大波動范圍不大于2°c的也可稱恒溫， 例如22°C士2°C即表明波動范圍最低不得低于20°C，最高不得高于24℃，可以按恒溫考慮。有的書中寫成22士5°C，這是不了解什么是恒溫，允許變化5°C絕不是恒定溫度了。
恒溫包括室溫波動范圍，即控制點或參考點的溫度或設定的恒溫參數(shù)在24h內(nèi)的波動范圍；還包括區(qū)域溫差，即工作區(qū)平面內(nèi)最大兩點溫度差別。
圖5-1是工作區(qū)溫度波動范圍統(tǒng)計曲線，是按各測點的各次溫度中偏離控制點溫度的最大值占測點總數(shù)百分比整理而成的。
圖5-2是工作區(qū)區(qū)域溫差統(tǒng)計曲線，是按各測點中最低溫度與各點平均溫度的偏差點占測點總數(shù)百分比整理而成的。
要求90%以上測點所達到的偏差值為波動范圍或區(qū)域溫差，對以上兩圖有：
室內(nèi)工藝 室溫波動范圍/ t： 區(qū)域溫差/X：
無設備熱源 < 士0.4 <士0.3
1.5kW 設備熱源 < 士0.5 <士0.4
2.5kW 設備熱源 < 士0.5 <士0.4
隨著技術的發(fā)展，潔凈室要求高精度恒溫的越來越多，例如用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的硅片，當直徑為100mm時，溫度上升1°C就會引起0.24/im的線膨脹，所以必須有士 0.1°C的恒溫，同時要求溫度基數(shù)一般較低，因為潔凈室內(nèi)人穿的衣服較嚴密，容易出汗，汗水中的鈉對半導體制品影響大，這種車間不宜超過25°C。
所以在選擇空氣過濾器進行空氣排風及過濾上都要涉及到溫度控制的要求，希望這些信息能為您帶來一定的幫助！
GMP車間凈化
